检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:李素萍[1] 王子华[1] 张友俊[2] 张胜[1] 李铭祥[3] 李英[1]
机构地区:[1]上海大学通信与信息工程学院,上海200072 [2]上海海事大学信息工程学院,上海200135 [3]上海大学电子物理研究所,上海201800
出 处:《上海大学学报(自然科学版)》2010年第4期371-375,共5页Journal of Shanghai University:Natural Science Edition
基 金:国家自然科学基金资助项目(60571054);上海大学研究生创新基金资助项目(SHUCX080153);上海市教委支出预算资助项目(2008101)
摘 要:将椭圆偏振测量法(椭偏法)的电磁频谱从原来可见光、红外波段拓展到毫米波段,对毫米波椭偏法测量原理进行理论分析,使用已构建的实验装置进行测量.通过对测量结果的分析,选择合适的入射角,经过大量测试,计算出被测介质材料的复介电常数.The electromagnetic frequency band of ellipsometry is extended from visible light and infrared band to millimeter-wave band. We analyze the measurement principle of ellipsometry in millimeter-wave band, and carry out experiments using a self-buih measurement apparatus. From the measured results, an appropriate incident angle is chosen. We obtain complex permittivity of materials based on a large amount of measured data.
关 键 词:复介电常数 椭圆偏振测量法(椭偏法) 反射系数 毫米波
分 类 号:TN015[电子电信—物理电子学]
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