MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展  

Research Progress of Gauge Check Technology of MEMS Accelerometers

作　　者：刘宇[1] 鞠文斌[1] 刘羽熙[2] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001 [2]哈尔滨工业大学,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《计测技术》2010年第4期5-8,共4页Metrology & Measurement Technology

摘　　要：MEMS加速度传感器在计量检测中有着广泛的应用。本文综述了MEMS加速度传感器的发展概况,总结了其分类方法、工作原理及特点,并提出发展趋势。MEMS（Micro Electronic Mechanical System） accelerometers have wide applications in gauge check.This paper reviewed the development status of MEMS accelerometers,introduced their classification,working principle and features,and pointed out prospects for further development.

关 键 词：MEMS加速度传感器 计量检测 研究进展 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]