热处理温度对溶胶-凝胶法制备TiO_2薄膜性能的影响  

作　　者：胡紫英[1] 李美姮[2] 马奇奇[2] 

机构地区：[1]湖南科技学院人事处,湖南永州425100 [2]湖南大学物理与微电子科学学院,湖南长沙410082

出　　处：《湖南科技学院学报》2010年第8期33-35,共3页Journal of Hunan University of Science and Engineering

摘　　要：采用溶胶-凝胶法在多孔钛表面制备TiO2薄膜;研究不同热处理温度对TiO2薄膜晶相结构的影响,结果显示,随着热处理温度的升高,TiO2由无定形结构向锐钛矿型和金红石型依次转变,当热处理温度达到800℃时,锐钛矿全部转变为金红石;测试分析了钛基底和不同温度热处理后的TiO2薄膜样品在0.9%NaCl生理盐水中的耐腐蚀特性,发现800℃热处理TiO2薄膜的耐腐蚀性最强。

关 键 词：TIO2 溶胶-凝胶法 热处理温度 晶相 耐腐蚀性 

分 类 号：O4-3[理学—物理]