扫描隧道显微镜电压脉冲法加工产生纳米结构的研究  

作　　者：刘安伟[1] 吉贵军[1] 胡小唐 齐小丁 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072

出　　处：《自然科学进展（国家重点实验室通讯）》1999年第4期320-324,共5页

基　　金：天津市21世纪青年基金(批准号:941314005)

摘　　要：采用扫描隧道显微镜(STM)电压脉冲法,在大气环境中进行了纳米级超微加工的实验研究.分别用钨探针和镀金钨探针,以高定向热解石墨(HOPG)和金薄膜为样品,通过在STM探针和样品之间施加一定的电压脉冲,制造出了尺度在纳米量级的结构.对形成的结构特征进行了分析,并总结了部分实验规律.

关 键 词：扫描隧道显微镜 纳米加工 电压脉冲法 纳变结构 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学] TN16