193nm深紫外固体激光技术探索  

Feasibility research of 193nm deep ultraviolet solid state laser technology

作　　者：郑俊娟[1] 秘国江[2,3] 王旭[2,3] 毛小洁[2,3] 钟国舜[2,3] 

机构地区：[1]北京服装学院基础部,北京100029 [2]固体激光技术重点实验室,北京100015 [3]华北光电技术研究所,北京100015

出　　处：《激光与红外》2010年第10期1068-1070,共3页Laser & Infrared

摘　　要：对193 nm深紫外激光技术实现途径进行了系统地分析,提出了一种可获得高重复频率、高光束质量的深紫外固体激光技术途径,分析了涉及的关键技术,对实用化深紫外固体激光源的研制具有一定的参考价值。In this paper,the way of obtaining 193 nm deep ultraviolet laser is analyzed,and a LD pumped solid state laser system by harmonic generations is reported,which has narrow line width,high repetition rate and high beam quality,and is some valuable to make small size and practical 193nm deep ultraviolet solid-state laser.

关 键 词：193nm深紫外激光 谐波转换 固体激光技术 

分 类 号：TN248.1[电子电信—物理电子学]