一种压阻式高g值传感器的冲击校准的方法研究  

Shock calibration of a high-g piezoresistive microaccelerometer

作　　者：李晓红[1] 范锦彪[1] 王燕[1] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原030051

出　　处：《传感器世界》2010年第10期11-13,共3页Sensor World

摘　　要：介绍了一种高g值冲击加速度传感器灵敏度校准的方法,即基于Hopkinson杆技术的激光多普勒干涉法,该方法能够复现冲击加速度量值,直接溯源于激光波长和时间/频率量,并使用Hopkinson杆对150000g量程的压阻式传感器进行了冲击校准,通过校准证明了该方法的可行性,而且复现方法可靠、稳定。A laser interferometer based on a Hopkinson bar for high-g shock sensitivity calibration is described in this paper. This method can reiterate the shock sensitivity energy by tracing the laser wavelength and time/frequency directly. The shock calibration of a piezoresistive sensor with 150000 g of measuring range is completed by using Hopkinson bar method. The experimental results justifies the feasibility of this method and the retrieval method is reliable and stable.

关 键 词：HOPKINSON杆 高g值加速度传感器 校准 激光多普勒干涉法 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]