软X射线多层膜及多层膜光栅的研究进展  

MULTILAYER FILMS AND GRATINGS FOR THE SOFT XRAY REGION

作　　者：熊刚[1] 刘文汉[1] 吴自勤[1] 

机构地区：[1]中国科学技术大学物理系

出　　处：《物理》1999年第5期285-289,313,共6页Physics

基　　金：国家自然科学基金

摘　　要：对目前的几种软Ｘ射线光学元件的性能作了简要的阐述和分析．综合介绍了多层膜作为软Ｘ射线光学元件的新进展．同时对多层膜光栅这种新型软Ｘ射线光学元件的原理、性能。An outline is given of the properties of various commonly used soft X-ray optical equipment. Recent development of multilayers in soft X-ray optics is described, with a detailed account of the theory, properties and manufacture of a new type of soft X-ray optics, multilayer gratings.

关 键 词：多层膜 多层膜光栅 软X射线 研究进展 光学元件 

分 类 号：O484.8[理学—固体物理]