单室沉积高效非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究  

High efficiency amorphous/microcrystalline silicon tandem solar cells deposited in a single chamber system

作　　者：张晓丹[1] 郑新霞[1] 王光红[1] 许盛之[1] 岳强[1] 林泉[1] 魏长春[1] 孙建[1] 张德坤[1] 熊绍珍[1] 耿新华[1] 赵颖[1] 

机构地区：[1]南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津300071

出　　处：《物理学报》2010年第11期8231-8236,共6页Acta Physica Sinica

基　　金：国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA05Z436;2009AA050602);天津科技支撑项目(批准号:08ZCKFGX03500);国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB202602;2006CB202603);国家自然科学基金(批准号:60976051);科技部国际合作重点项目(批准号:2006DFA62390;2009DFA62580);教育部新世纪人才(批准号:NCET-08-0295)资助的课题~~

摘　　要：采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在前期单室沉积的微晶硅薄膜太阳电池和非晶硅/微晶硅叠层太阳电池研究的基础上,通过对微晶硅底电池本征层硅烷浓度的优化,获得了初始效率达到11.02%(电池面积1.0cm2)的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池.同时,100cm2的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的组件效率也达到了9.04%.Based on the previous research on the deposition of amorphous/microcrystalline （micromorph） silicon tandem solar cells,silane concentration for the deposition of microcrystalline bottom cell is selected to further optimize the performance for micromorph tandem solar cells by using very high frequency technique.Finally,micromorph silicon tandem solar cell with 11.02% （Area = 1.0cm2 ） initial conversion efficiency is fabricated at a certain silane concentration,and it has a structure suitable for trapping light.Furthermore,100cm2 micromorph module with 9.04% initial conversion efficiency is also successfully obtained.

关 键 词：非晶硅/微晶硅叠层电池 单室 甚高频 

分 类 号：TM914.4[电气工程—电力电子与电力传动]