微硅型扭摆式静电力平衡加速度计的设计分析  

Design and Analysis of a Planar Vibrator Micro Silicon Accelerometer with Electrostatic Balance

作　　者：吴建辉[1] 

机构地区：[1]东南大学电子工程系

出　　处：《仪表技术与传感器》1999年第4期10-13,共4页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：】文中详细提出了微硅型扭摆式静电力平衡加速度计设计的基本理论，根据加速度计的性能指标，应用该理论可以确定加速度计的结构参数；测量电路的回路增益、再平衡电压等电气参数。In this paper,the basic theory of design for a planar vibrator micro silicon accelerometer with electrostatic balance is presented.According to the accelerometer′s specification,this theory can be used to define the structural parameters of the accelerometer,the electrical parmeters of loop gain and re balanced voltage of the circuits can also be measured.

关 键 词：扭摆式 静电力平衡 加速度计 设计分析 微硅型 

分 类 号：TH824.402[机械工程—仪器科学与技术]