动态消像散的闭环控制  

CLOSE LOOP CONTROL FOR DISPELLING ASTIGMATISM DYNAMICALLY

作　　者：尹明[1] 陈振生[1] 何立琴 钟铃 

机构地区：[1]山东工业大学自动化系 [2]山东泰山电器集团

出　　处：《微细加工技术》1999年第2期12-16,共5页Microfabrication Technology

摘　　要：笔者首次利用计算机控制，使动态电磁消像散形成一闭环系统。避开输出的饱和区和截止区。A close loop system using computer control to dispel astigmatism dynamically is presented. It prevents the electromagnetic astigmator from working in saturation and cut off areas and then the eight pole astigmator coils have good control to dispel astigmatism.

关 键 词：电子束 像散 闭环控制 电磁消像散器 计算机控制 

分 类 号：TN140.1[电子电信—物理电子学] TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]