Ga_xAl_(1-x)As三元化合物共沉积研究  

作　　者：杨春晖[1] 徐吾生[1] 韩岩 韩爱珍[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学应用化学系

出　　处：《压电与声光》1999年第3期224-226,共3页Piezoelectrics & Acoustooptics

摘　　要：在简单盐溶液中添加络合剂——柠檬酸，电共沉积ＧａｘＡｌ１－ｘＡｓ三元化合物。用能谱分析仪进行成分分析，获得化学计量比接近Ｇａ０．７Ａｌ０．３Ａｓ的三元化合物半导体材料。

关 键 词：GaAlAs化合物 电沉积 络合剂 半导体材料 

分 类 号：TN304.26[电子电信—物理电子学]