恒压式气体微流量计的设计  

Design of Constant Pressure Flowmeter

作　　者：张涤新[1] 孟扬[1] 吕时良 

机构地区：[1]兰州物理研究所

出　　处：《中国空间科学技术》1999年第3期65-71,共7页Chinese Space Science and Technology

摘　　要：恒压式气体微流量计是校准气体微流量的一种装置，校准范围为（１７．１～１×１０－５）Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％，可采用直接测量法和比较测量法对标准漏孔进行校准。文章介绍恒压式气体微流量计的设计方法和结构参数的选择。A constant pressure flowmeter is a kind of calibration apparatus of gas throughput. The calibration range is (17.1～1×10 -5 )PaL/s with the uncertainty less than 2%. It can calibrate the standard leaking hole with the direct method of meassurement and the comparison method of measurement. In the paper, the design method, the structure parameters selection for the constant pressure flowmeter are introduced.

关 键 词：气体流量计 校准 结构参数 设计 微流量计 检漏 

分 类 号：TB774[一般工业技术—真空技术]