加速建设我国的现代化半导体设备产业  

作　　者：俞忠钰 

出　　处：《LSI制造与测试》1989年第5期1-2,9,共3页

关 键 词：半导体 设备 微电子技术 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]