光纤光谱法对Ar和He辉光放电管的参量诊断  

Ar and He glow discharge plasmas diagnosis by optical fiber emission spectrum

作　　者：王加伟[1] 张芝涛[1] 俞哲[1] 

机构地区：[1]大连海事大学物理系

出　　处：《物理实验》2010年第12期21-23,27,共4页Physics Experimentation

摘　　要：应用光纤光谱法分别对Ar和He的辉光放电等离子体的电子密度进行了诊断,并与应用朗缪尔双探针诊断法所得的结果进行了比较,两种方法的结果具有相同的变化规律,验证了光纤光谱法的正确性和适用性.The electron densities in Ar and He glow discharge plasmas are measured by optical fiber emission spectrum.Compared with Langmuir double probe method,the similar experimental results prove that the optical fiber emission spectrum method is correct and feasible.

关 键 词：光纤光谱法 朗缪尔诊断法 电子密度 

分 类 号：O461.21[理学—电子物理学]