FAIMS用非对称方波RF电源系统的研制  

Design of a rectangular asymmetric waveform RF power supply for FAIMS

作　　者：杨吉[1] 唐飞[2] 王晓浩[2] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原030051 [2]清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京100084

出　　处：《微计算机信息》2010年第35期180-181,170,共3页Control & Automation

基　　金：基金申请人:唐飞;项目名称:基于高场非对称波形离子迁移谱的MEMS微型环境探测器研究;基金颁发部门:国家自然科学基金委(60706030)

摘　　要：在FAIMS(High-field Asymmetric Waveform Ion Mobility Spectrometry)系统研究中,基于新型MEMS(Micro-Electro-Me-chanical-System)工艺加工的平板式迁移区需求,提出一个新型的FAIMS仪用高场非对称方波RF电源系统设计方案,以TMS320F2812为信号发生及控制核心,对逆变电路结构进行优化设计,并进行电磁兼容及电源完整性分析设计,很好的实现高场非对称方波电压波形输出。并在射频干扰下,对补偿电压进行准确采集。During the system survey of FAIMS（High-field Asymmetric Waveform Ion Mobility Spectrometry）,based on needs of the new planar drift tube,which was manufactured by Micro-Electro-Mechanical-System（MEMS） technology,A high-field high-frequency rectangular waveform RF power supply for FAIMS system was designed and fabricated.TMS320F2812 generated and controlled the signals.The half-bridge inverter circuit was optimized and designed by analysis on power integrity？？and Electro-Magnetic Compatibility.Even More,the compensation voltage need to be accurately collected in the radio frequency interference.

关 键 词：高场非对称方波 半桥逆变 电源完整性 电磁兼容 

分 类 号：TP216[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]