开关电容氢敏传感器研究  

A Research on Switch-Capacitance Hydrogen Sensor

作　　者：肖丽萍[1] 常丹华[1] 

机构地区：[1]燕山大学

出　　处：《仪表技术与传感器》1999年第7期23-25,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：详细分析了用Ｐｄ栅ＭＯＳ电容器测量空气中氢含量的方法，设计了用开关电容电路实现模数转换的循环型Ａ／Ｄ转换器的接口电路，提出的开关电容氢敏传感器特别适合于用大规模集成电路实现。The method of measuring hydrogen content in the air with Pd bar MOS capacitance is particularly analysed in the paper.The interface circuit of sensor used switch-capacitance A/D conversion with circulatory conversion is implemented The switch-capacitance hydrogen sensor is suitable for LSI.

关 键 词：氢敏传感器 开关电容 模数转换器 传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]