容栅式数显角度测量系统的研制  

作　　者：周善波[1] 谢行[1] 温鹏飞[1] 

机构地区：[1]北京航天试验技术研究所

出　　处：《工具技术》2011年第1期98-100,共3页Tool Engineering

摘　　要：1引言自从1972年瑞士Tfimos公司及其子公司SYL—VAC公司研制成功用于长度测量的容栅测量系统以来，容栅测量系统在精密电子量具及数显量仪上得到了广泛应用。容栅测量系统是一种无差调节的闭环控制系统，它的基本测量部分是一个差动电容器，它的作用是利用电容的电荷耦合方式将机械位移量转变成为电信号的相应变化量，将该电信号送入电子电路，再经过一系列变换和运算后显示出机械位移量的大小。

关 键 词：角度测量系统 容栅式 数显 闭环控制系统 电子电路 长度测量 耦合方式 电容器 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]