基于透射电子显微镜TDX-200观察室的应力、应变分析  

Calculation and analysis on the strain-stress distribution for the viewing chamber of TDX-200 TEM

作　　者：童超[1,2] 崔益民[1] 王荣明[1] 方进[2] 

机构地区：[1]北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室,物理科学与核能工程学院,北京100191 [2]北京交通大学电气工程学院,北京100044

出　　处：《电子显微学报》2010年第6期569-573,共5页Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基　　金：国家科技支撑计划课题(2006BAK03A24)

摘　　要：透射电子显微镜的观察室不仅要有便于观察、成像、照相等功能,还承载着电镜主体镜筒和电子枪的重量,因此观察室的设计与加工是镜筒主体制造的关键部分。本文以我国自主设计的TDX-200透射电子显微镜的观察室为研究对象,采用有限元结构分析软件ANSYS对其进行应力应变分析计算,为该类型的透射电子显微镜观察室设计和制造提供可靠数据。The viewing chamber of a transmission electron microscopy（TEM） undertakes not only the functions of viewing,imaging and recording,but also the weight of the main column including the electron beam gun.Therefore,the calculation and analysis of stress-strain distribution of the chamber is very important.In this study,the calculation and analysis on the stress-strain distribution of the viewing chamber of TDX-200 TEM by finite element software ANSYS were studied,which may provide essential data for the design and manufacture of the TEM.

关 键 词：透射电子显微镜 观察室 应力应变 ANSYS 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学] TB301[一般工业技术—材料科学与工程]