X波段五位移相器和小功率开关HMIC的研制  

作　　者：薛羽[1] 

机构地区：[1]南京电子技术研究所,江苏南京210013

出　　处：《电子元件与材料》1999年第5期32-33,共2页Electronic Components And Materials

摘　　要：介绍了一种用混合微波组装工艺制造的Ｘ波段ＰＩＮ二极管五位数字移相器和小功率开关ＨＭＩＣ的电路设计和制造工艺，并分析了制造工艺对移相器的影响， 提出了控制这种影响的方法。用这种控制方法制造的该Ｘ波段ＰＩＮ二极管五位数字移相器和小功率开关ＨＭＩＣ： 体积小。

关 键 词：移相器 小功率开关 制造工艺 HMIC 

分 类 号：TN454.05[电子电信—微电子学与固体电子学] TN623.05