气体纯化器在高纯气体检验中的运用  

The Use of Gaspurifier Athigh Purity Gases

作　　者：宋栋梁[1] 

机构地区：[1]江苏省计量科学研究院,江苏南京210007

出　　处：《计量与测试技术》2011年第1期49-50,共2页Metrology & Measurement Technique

摘　　要：文中讲述了用DID微量气体分析系统,检验气体纯化器的纯化效果的试验过程,以图表的形式直观的描述了各种影响因素对纯化结果的影响。大家都知道气相色谱仪所用载气纯度越高,它的检测浓度就越低,用来检测高纯气体的水平就越高,所以微量气体分析系统往往需要用6N的载气,在国内较难买到瓶装气,而进口又相当昂贵。经介绍先普半导体技术(上海)有限公司生产的一款稀有气体纯化器可以很容易地把5N高纯气通过纯化,得到6N超纯气体,从而提高我们的色谱检验水平;同时作为辅助纯化器,有效地保证仪器内部纯化器的安全和寿命。

关 键 词：纯化器 气相色谱仪 检验 纯化效果 影响 

分 类 号：TH833[机械工程—仪器科学与技术]