基于透射衰减和菲涅尔衍射的厚度测量法  

作　　者：陶亮[1] 李振华[1] 左凯[1] 张祯滨[1] 孙同景[1] 

机构地区：[1]山东大学控制科学与工程学院,山东济南250061

出　　处：《无损探伤》2010年第6期20-23,共4页Nondestructive Testing Technology

基　　金：国防基础科研计划资助(B1420080209-08);国家自然科学基金资助(60904097)

摘　　要：提出了一种基于X射线透射衰减和菲涅尔衍射光学机理的工件厚度测量法。首先利用菲涅尔衍射模型对透射数字成像的边缘区域进行衍射校正,然后在相应能量的X射线透射作用下,根据其边缘处的厚度值,反推该材料的衰减系数,最后利用厚度测量公式计算出工件的厚度值。该方法不依赖于难以测量的材料衰减系数集、材料的原子序数及X射线的绝对光强值,不仅能够批量测量透射目标各点的厚度值,还可以测量其内部缺陷的大小。

关 键 词：厚度测量 透射衰减 菲涅尔衍射 内部缺陷 

分 类 号：TG115.28[金属学及工艺—物理冶金]