薄膜材料光学特性研究的椭偏光谱数据处理  

Data Analysis for Spectroscopic Ellipsometry on Optical Properties of Thin Films

作　　者：陈篮[1] 莫党[2] 

机构地区：[1]解放军广州通信学院基础教研室,广州510502 [2]中山大学物理系,广州510275

出　　处：《压电与声光》1999年第4期267-271,共5页Piezoelectrics & Acoustooptics

摘　　要：椭偏光谱由于其独特性而广泛应用于薄膜材料的光学特性研究。文章综述了椭偏光谱数据处理中常用的物理模型，并对椭偏光谱的一般方法作了总结。Spectroscopic ellipsometry(SE) is suitable for the characterization of optical properties of thin films by its novel.The problems of data analysis for SE are reviewed and discussed.The opinion on data analysis for SE is summarised.

关 键 词：薄膜 光学性质 椭偏光谱 数据处理 

分 类 号：O484.41[理学—固体物理]