检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
出 处:《电子质量》2011年第2期11-13,共3页Electronics Quality
摘 要:该文讨论了TiO2对氧气的吸附过程及敏感机理、重点分析了掺铁和掺钨对氧敏特性的影响,并比较了两者的异同。制作了掺铁和掺钨的TiO2薄膜,并在400℃下对薄膜氧敏特性进行了测试。结果表明,TiO2具有低电阻的特点,在高温下能够有效感应氧气浓度的变化。The oxygen adsorption process on the surface of TiO2 and oxygen sensing mechanism is investigated,and the effect of ferric dopant and tungsten dopant on TiO2 is discussed in detail.The ferric-doped titanium oxide thin film and tungsten-doped titanium oxide thin film are fabricated by silicon technology;the gas sensor sample is tested at 400℃.The result show that the sample is with low resistance,can response to the change of oxygen content at high temperature.
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