AlSb多晶薄膜物相结构的实验研究  

Experimental Study on Phase and Structure of AlSb Polycrystalline Thin Film

作　　者：夏庚培[1] 冯良桓[2] 武莉莉[2] 贺剑雄[2] 

机构地区：[1]国家光伏产品质量监督检验中心,成都610200 [2]四川大学太阳能材料与器件研究所,成都610064

出　　处：《计量与测试技术》2011年第2期4-5,8,共3页Metrology & Measurement Technique

基　　金：国家"十一五"高技术发展计划863课题(2006AA05Z418)

摘　　要：综合真空共蒸发和磁控溅射的优点,发展了双靶共溅射技术用于制备新型光伏材料AlSb多晶薄膜,采用X射线衍射、X射线荧光光谱、俄歇电子能谱等测试手段结合的分析方法,系统研究了薄膜组分、衬底温度、氧杂质等因素对薄膜物相结构的影响。结果表明,薄膜中Al、Sb原子接近1:1时,不会出现Al或Sb的结晶峰;衬底温度较高的情况下,形成了AlSb金属间化合物为主的多晶薄膜,并随着衬底温度的升高其晶粒得以长大;氧严重影响了AlSb的生成和结晶。

关 键 词：AlSb多晶薄膜 物相结构 共溅射技术 金属间化合物 

分 类 号：TB383.2[一般工业技术—材料科学与工程]