高场强下铝阳极氧化膜中相关元素的分布及其介电性能  

作　　者：袁战恒[1] 孙海君[1] 徐友龙[1] 曹婉真[1] 

机构地区：[1]西安交通大学

出　　处：《电子元件与材料》1999年第4期11-12,15,共3页Electronic Components And Materials

摘　　要：利用俄歇电子能谱仪（ＡＥＳ）分析了高场强下不同条件形成的阳极氧化膜中相关元素的分布，分析表明膜中不同程度存在Ｂ、Ｃ、Ｐ等相关元素。测试其相应的介电性能，表明氧铝比Ｒ（Ｏ∶Ａｌ）接近于１．５时其介电性能较好。

关 键 词：铝阳极氧化膜 相关元素分布 介电性能 电容器 

分 类 号：TM533.101[电气工程—电器]