多层结构半导体膜的XPS和AES分析  

XPS AND AES ANALYSIS OF MULTILAYER-STRUCTURE SIMECONDUCTOR FILMS

作　　者：张瑞峰[1] 于亚莉[1] 李文范[1] 孙玉茹[1] 

机构地区：[1]中国科学院长春应用化学研究所

出　　处：《太阳能学报》1990年第3期312-318,共7页Acta Energiae Solaris Sinica

摘　　要：本文采用VG ESCALAB MK-Ⅱ电子能谱仪对多层结构的薄膜Cu_2S-CdS太阳电池进行了X-光电子能谱、俄歇电子谱和深度分析。指出了电池表面的组成、结构和状态。由于制备工艺和处理方法的不同,电池表面和界面会发生变化,从而影响薄膜Cu_2S-CdS太阳电池的电性能和稳定性。本文为电池机理的研究提供了一些数据。In this paper, the multilayer-structure thin film Cu2S-CdS solar cells are studied with X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Auger electron spectroscopy (AES) on VG ESCALAB MK-I model multifunction electronspectrometer. The analysis shows that not only oxygen and chlorine are absorbed on surface of Cu2S layer, but also carbon element remains there. It is indicated that some impurities may effect the electro-property of Cu2S-CdS solar cells.

关 键 词：半导体 薄膜 AES XPS 分析 

分 类 号：TN304.25[电子电信—物理电子学]