1级(0.1μm)超级洁净室的设计分析  

Analysis of 0.1 μm Super clean room Design

作　　者：吴杲[1] 龚毅[1] 

机构地区：[1]郑州纺织工学院,河南郑州450007

出　　处：《郑州纺织工学院学报》1999年第3期83-85,共3页Journal of Zhengzhou Textile Institute

摘　　要：通过对１ 级（０ ．１ μｍ ） 超级洁净 室的分 析比 较，认 为超 级洁 净室 设计 的关 键是 三个 方 面，即新风处 理系统 、末端超高 效过滤 器、正压控 制，并对 该设计 存在的问 题提出了 建议。By analysing the designing of 0.1 μm super clean room, the three key factors for the room design techniquces are pointed out, i.e. primary air handling system, terminal superhigh efficiency filter and positive pressure control. The proposals for designing are put forward at the same time.

关 键 词：1级 超级洁净室 超大规模 集成电路 洁净室 

分 类 号：TN47[电子电信—微电子学与固体电子学]