大口径光学元件微纳加工与检测技术研究与应用  

Research on the Key Technology of Micro/nano Machining and Measuring

作　　者：郭隐彪[1] 王振忠[1] 彭云峰[1] 杨炜[1] 毕果[1] 

机构地区：[1]厦门大学物理与机电工程学院,微纳米加工与检测联合实验室,福建厦门361005

出　　处：《厦门大学学报（自然科学版）》2011年第2期286-292,共7页Journal of Xiamen University：Natural Science

基　　金：国家高技术研究发展计划(863)重点项目(2008AA042501);国家自然科学基金项目(51075343,50905150);福建省科技重大专项(2006HZ0002-4);福建省自然科学基金资助项目(2010J05122)

摘　　要：超精密金刚石砂轮磨削是大口径先进光学元件微纳加工的主要技术,是实现确定性批量加工的重要保证.以实现高精度、高效率、高自动化程度加工为目的,阐述了大口径光学元件微纳加工与检测的加工技术系统,详细分析高精度加工设备及工艺控制、大尺寸检测、加工环境监控、快速抛光、表面织构化等研究应用情况.Ultra precision grinding with diamond wheel is widely used for manufacture of large scale optical lens,especially for batch processing,as the key technology of micro/nano machining and measuring.This paper presents the technical system of micro/nano machining and measuring for large-scale optical manufacture,and introduces the studies of the research team in Xiamen University in the field of advanced optical machining,precision machine tool,micro/nano measuring,fast controllable polishing,machining environment monitoring,and textured surface fabricating.

关 键 词：微纳米加工 检测 超精密加工装备 快速抛光 加工监控 表面织构化 

分 类 号：TG58[金属学及工艺—金属切削加工及机床]