耐磨应用的高性能溅射碳涂层  

作　　者：马兵 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1999年第8期13-15,共3页

关 键 词：碳涂层 溅射 离子涂镀 耐磨性 薄膜 

分 类 号：TG174.442[金属学及工艺—金属表面处理]