纳米科学技术中的离子束  

作　　者：聂树真[1] 

机构地区：[1]中国科学院力学研究所

出　　处：《国外科技新书评介》2011年第3期16-16,共1页Scientific & Technology Book Review

摘　　要：在纳米尺度材料表征和加工中，高能离子束是其研究和制作技术的基础。具有特制光、磁和电特性的材料能够由离子植入纳米晶体合成来制备。聚焦离子束可以在纳米尺度上切削和积淀材料，而高能离子的散射是一种独特和定量的工具，用于高速电子器件的工艺过程开发，并且用于组织工程的三维纳米结构和在单晶上的纳米射流实验都可以应用质子束来实现。因此，在纳米科学技术中离子束正在发挥着越来越重要的作用。

关 键 词：纳米科学技术 聚焦离子束 材料表征 纳米尺度 高能离子 制作技术 晶体合成 离子植入 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]