光纤探针式声谐振器用于氢气测量  

Acoustic resonator fiber probe for measuring hydrogen

作　　者：刘琨[1] 

机构地区：[1]沈阳职业技术学院,沈阳110045

出　　处：《制造业自动化》2011年第8期68-70,共3页Manufacturing Automation

摘　　要：本文在一根普通单模光纤探针上实现了微型声谐振器。该谐振器的制作工艺包括:光纤切割与熔接,磁控溅射,聚焦离子束沉积,腐蚀。一层亚微米厚的铂层镀到谐振器的振动臂上作为暴露在氢气环境中的热催化剂。热量致使声谐振器的温度升高,导致声谐振器发生频移。氢气浓度为1%时,该传感器在谐振频率1.7MHz处移动了1170.4Hz。该传感器的灵敏度优于0.1%。

关 键 词：声谐振器 光纤探针 氢气 光纤传感器 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]