微悬臂梁传感器在环境检测中的应用  

Applications of microcantilever sensor in environmental detection

作　　者：滕艳华[1] 薛长国[2] 

机构地区：[1]安徽理工大学材料科学与工程学院,安徽淮南232001 [2]中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室,安徽合肥230027

出　　处：《传感器与微系统》2011年第4期5-7,11,共4页Transducer and Microsystem Technologies

基　　金：安徽省教育厅青年基金资助项目(2007JQ1037);安徽省高校自然科学基金资助项目(KJ2010B316)

摘　　要：微悬臂梁传感器以其实时、高灵敏度、非标记等优点,成为一种新型环境检测手段。介绍了微悬臂梁传感器的工作原理,包括其工作模式、读出技术,总结了其在环境检测等方面的研究动态,并对其在环境检测领域的发展进行了展望。As the advantages of real time,high sensitivity,label-free detection,microcantilever sensor becomes a kind of new-style environmental detection method.The principle of microcantilever sensor,especially its working mode and read out technology are introduced and the latest development of this sensor technology in the environmental detection is summarized.The development prospect in this field is discussed.

关 键 词：微悬臂梁传感器 工作原理 环境检测 

分 类 号：TP215[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]