长度计量基础知识讲座(二十七) 第二十七讲 接触式干涉仪  

作　　者：顾耀宗[1] 

机构地区：[1]上海市计量测试技术研究院

出　　处：《上海计量测试》2011年第2期55-56,共2页Shanghai Measurement and Testing

摘　　要：第二十七讲 接触式干涉仪 1概述 接触式干涉仪（以下简称干涉仪）是应用光波干涉原理，采用微差比较测量法测量长度的高精度计量仪器。干涉仪由前苏联计量仪器专家乌威尔斯基设计并制造，因此通常称为乌氏干涉仪。干涉仪主要用于检定尺寸小于150mm的3等及以下量块的尺寸，也可以对其他高精度零件进行精密测量或作高精度测量的定位。

关 键 词：知识讲座 计量基础 长度 接触式干涉仪 比较测量法 高精度测量 计量仪器 乌氏干涉仪 

分 类 号：TB921[一般工业技术—计量学]