一种制备功能薄膜的新型装置的设计  

作　　者：赵桂芳[1] 江超[1] 

机构地区：[1]湖北师范学院物理与电子科学学院,湖北黄石435002

出　　处：《黑龙江科技信息》2011年第11期12-12,共1页Heilongjiang Science and Technology Information

基　　金：湖北省教育厅2011年重点研究项目资助(项目编号:D20112202)

摘　　要：首先概括了功能薄膜的特性、制备方法及其应用领域。然后,介绍了微空心阴极放电的基本结构及应用。最后,利用微空心阴极放电设计了一种新型制备功能薄膜的装置,对该装置的设计过程、工作原理和特点进行了详细的论述。

关 键 词：功能薄膜 高气压辉光放电 微空心阴极放电 薄膜制备 

分 类 号：TB43[一般工业技术]