基于衍射准直的长程面形仪  

出　　处：《中国科技成果》2011年第8期62-62,共1页China Science and Technology Achievements

摘　　要：长程面形仪是一种高精度、非接触的大型非球面光学检测仪器，作为同步辐射光束线工程的关键检测仪器，主要用于X射线波段大尺度、非球面反射镜面形检测及长镜精密压弯机构标定和性能测试。该仪器研制主要是为国家重大科学工程——上海光源工程光束线建设服务，该项目在解决了一系列关键技术难题的基础上，在国际上率先成功研制了1台基于衍射准直的长程面形仪。

关 键 词：长程面形仪 准直 衍射 同步辐射光束线 光学检测仪器 非球面反射镜 上海光源工程 大科学工程 

分 类 号：TH74[机械工程—光学工程]