静电力激振法用于确定电容式传感器动态特性的研究  

Application of Electrostatic Excitation Method in the Determination of Dynamic Characteristic of Capacitance Sensor

作　　者：洪连进 葛丛梅[2] 

机构地区：[1]哈尔滨理工大学仪器仪表学院,黑龙江哈尔滨150040 [2]哈尔滨理工大学电气与电子工程学院,黑龙江哈尔滨150040

出　　处：《哈尔滨理工大学学报》1999年第4期9-12,共4页Journal of Harbin University of Science and Technology

基　　金：黑龙江省自然科学基金!E9728

摘　　要：提出了用静电力激振法确定电容式加速度传感器的动态特性，并分析了其静电力的非线性、频率误差及补偿传感器本身寄生电容的方法．给出的正弦振动台结构简单、经济实用，而且非线性系数大大降低．Electrostatic method is used to deterndne the dynandc characteristic possibility ofcapacitance acceleration sensor. The electrostatic force nonlinearity, frequency errors and themethod of compensating sensors parasitic capacity are disussed, and a simple vibration table isput forward, which is econodric and practical, and the nonlinear coefficient of which is greatlyreduced.

关 键 词：静电激振 动态特性 传感器 电容式传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]