在大气中利用燃烧火焰合成金刚石  

作　　者：广濑洋一 天沼修二 王景义 

机构地区：[1]日本工学大学工学部电气电子工学科 [2]同大学大学院工学研究学科电气工学专业

出　　处：《微细加工技术》1990年第2期65-69,共5页Microfabrication Technology

摘　　要：气相合成金刚石的方法,可举出有热灯丝CVD法、微波等离子体CVD法、电子轰击CVD法(EACVD法)、直流等离子体CVD法、弧光放电等离子体CVD法、等离子体喷射CVD法等。 这些合成法一般是用等离子体分解碳素源,并在还原性气氛中,生成原子态氢来合成金刚石的。原子态氢使得基团生成和金刚石的结合状态保持单键,并且对生长中产生的石墨、

关 键 词：金刚石 合成 燃烧火焰 等离子体 

分 类 号：TN304.18[电子电信—物理电子学]