检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
出 处:《硅谷》2011年第12期9-9,共1页
摘 要:美国西密歇根大学的制造工程学教授John Patten博士开发了一种称为“μ-LAM”的微激光辅助加工技术,该方法将激光与金刚石刀具结合起来,对硅半导体和陶瓷材料进行加热软化和切削加工。
关 键 词:金刚石刀具 激光辅助 微电子加工 瞄准 加工技术 切削加工 陶瓷材料 硅半导体
分 类 号:TN405.982[电子电信—微电子学与固体电子学]
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