用斐索自聚焦光纤干涉仪测微区面形  

A GRIN Fizeau Interferometer for the Profile Measurement of Micro-surfaces

作　　者：孙晓红[1] 明海[1] 白明[1] 张国平[1] 吴云霞[1] 刘旸 梁忠诚[1] 谢建平[1] 束继祖 

机构地区：[1]中国科技大学物理系,合肥230026 [2]中国科学院国家微重力实验室,北京100084

出　　处：《中国激光》1999年第10期907-911,共5页Chinese Journal of Lasers

摘　　要：采用LD泵浦的单纵模Nd：YVO4倍频激光器、自聚焦棒以及三维精密调整架构成斐索型干涉仪，它具有同时测量微区振动和面形的功能，着重给出了测量微区面形的实验结果和理论分析。A Fizeau type interferometer reported here is composed of a LD-pumped singlemode double-frequency Nd: YVO4 laser, a different-size GRIN (Gradient Index) rod lens and a 3-D fine regulation stand. It is used for the measurement of the profile, deformation and oscillatory feature of micro- surfaces simultaneously. The experimental results and theoretical analysis are given.

关 键 词：斐索干涉仪 自聚焦棒 光纤传感器 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH744.3[自动化与计算机技术—控制科学与工程]