真空镀膜玻璃技术的新成就  

NEW ACHIEVEMENT IN THE FIELD OF TECHNOLOGY ABOUT COATED GLASS WITH MAGNETRON SPUTTERING

作　　者：陈晓东[1] 

机构地区：[1]沈阳金博真空工程有限公司,沈阳110014

出　　处：《真空与低温》1999年第4期229-232,共4页Vacuum and Cryogenics

摘　　要：孪生磁控和旋转磁控阴极相对于平面磁控阴极的优势及对镀制Ｌｏｗ － Ｅ 膜及ＩＴＯIn this paper,low-E and ITO films prepared by using the advantage of the twinmag and c-mag cathode are discussed and compared to planar magnetron cathode

关 键 词：旋转磁控阴极 ITO 真空通道 真空镀膜玻璃 

分 类 号：TQ171.724[化学工程—玻璃工业]