N_2流量对多弧离子镀ZrTiN涂层性能的影响  

Influence on properties of ZrTiN coatings prepared by multi-arc ion-plating with different N_2 flow

作　　者：陈振[1] 邓建新[1] 颜培[1] 连云松[1] 

机构地区：[1]山东大学机械工程学院,山东济南250061

出　　处：《制造技术与机床》2011年第6期122-124,159,共4页Manufacturing Technology & Machine Tool

基　　金：国家重点基础研究发展计划资助(2009CB724402);山东省杰出青年基金(JQ200917);泰山学者专项基金

摘　　要：采用离子束轰击辅助多弧离子镀法,在硬质合金YT15刀片上沉积ZrTiN涂层。研究了沉积过程中不同N2流量对ZrTiN涂层性能的影响,结果表明:当N2流量为140 mL/min时,涂层表面熔滴、缺陷较少,表面平整,粗糙度值最小。在该N2流量下,由于真空室内各种粒子结合率较高,沉积速率适中,涂层生长致密,其硬度和结合力的综合性能最佳,另外当N2流量为120 mL/min时,涂层沉积速率最快达到24.6 nm/min。ZrTiN coatings are prepared on carbide tool substrates by multi-arc ion-plating.The influence of N2 flow on properties of ZrTiN coatings is investigated.The results show that the molten grains on coatings′ surface are less when the N2 flow is 140 mL/min,the surface is smooth and the roughness is the lowest.In this condition,the coatings′ comprehensive properties of hardness and adhesion are the best.In addition when the N2 flow is 120 mL/min,the fastest deposition rate is to 24.6 nm/min.

关 键 词：ZrTiN涂层 多弧离子镀 N2流量 硬度 结合力 

分 类 号：TB34[一般工业技术—材料科学与工程]