Au膜结构及其微观应变的测定  

Determination of Structure of Au Film and Its Microstrains

作　　者：何荔[1] 丛秋滋[1] 孙嘉奕[1] 

机构地区：[1]中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室,兰州730000

出　　处：《分析测试学报》1999年第6期1-4,共4页Journal of Instrumental Analysis

基　　金：中国科学院大型仪器功能开发基金

摘　　要：介绍用Ｘ－ 射线衍射方法测定Ａｕ 薄膜材料结构及其微观应变 。利用不对称布拉格反射ＳＴＤ（ｓａｍｐｌｅ ｔｉｌ＿ｔｉｎｇ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ） 扫描模式与常规ＣＢＤ（ｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌ Ｂｒａｇｇ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ） 扫描模式， 确定Ａｕ 膜的结构及取向， 同时采用直接测量法（ 非卷积法） 来测定Ａｕ 的微观应变。A method for the determination of structure of Au film and its microstrain with X _ ray diffractometer is reported. The asymmetrical Bragg reflection STD scan mode with the conventional X _ ray diffraction CBD mode is used to determine phase composition and orientation of Au film. The microstrains of Au film are determined by direct measurement method(non _ convolution method) using X _ ray diffraction at the same time.

关 键 词：金膜 微观应变 XRD 膜 

分 类 号：O614.123[理学—无机化学]