砷化镓集成电路技术的新进展——1998年IEEEGaAsIC国际会议  

作　　者：陈效建[1] 

机构地区：[1]南京电子器件研究所,210016

出　　处：《固体电子学研究与进展》1999年第3期353-356,共4页Research & Progress of SSE

关 键 词：砷化镓集成电路 光刻板 生产线 集成电路 

分 类 号：TN432[电子电信—微电子学与固体电子学]