高Q平面环形微腔的制备以及测试  

Fabrication of High-Q Optical Microcavity and Test

作　　者：闫树斌[1] 贾鹏飞[1] 李鹏[1] 张宇光[1] 王丽[1] 邹江[1] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国防重点实验室 仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051

出　　处：《纳米科技》2011年第3期5-8,18,共5页

基　　金：基金项目：973国家重点基础研究发展计划项目（No.2009CB326206）,重点实验室基金项目（No.9140C1204040909）,国家自然科学基金项目（No.60707014＆No.60778029）.山西省自然科学基金项目（No.2009011059-16）,总装创新项目（No.7130907）.

摘　　要：采用MEMS工艺制备平面微盘腔，再通过二氧化碳激光熔融其表面形成为环状结构，通过三维形貌微系统分析仪、原子力显微镜分别测试了其外部尺寸和表面粗糙度，实验结果表明，锥形光纤近场耦合测得微腔品质因素为4．8×10^5，耦合效率在95％以上，因此激光回流微的方式在得到了新的结构的同时保证了光腔的性能。MEMS technology was used to fabricate microdisk cavity, and CO2 laser was applied to reflow the surface of microdisk, which formed mierotoroid shape in order to improve the surface of the optical microcaviy. Atomic-forcemicroscopy and TMS（topography measurement system）were used for testing the feature of the cavity. Quality factor of the microtoroidal cavity was tested by taper evanescent-field coupling, and the average value can be up to 4.8×10^5 with the coupling efficiency of about 95%. The result showed that process of laser reflow not only obtained the new shape but also ensured excellent optical performance in planar microtoroid cavity.

关 键 词：光学微腔 品质因素 激光处理 粗糙度 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学]