CuAlO_2陶瓷靶材的制备及其性能研究  

Preparation and performance of CuAlO_2 ceramic target

作　　者：兰军[1] 刘翔[1] 张辉[1] 段云彪[1] 储清梅[1] 曹明刚[1] 张少春[1] 

机构地区：[1]昆明理工大学材料科学与工程学院,昆明650051

出　　处：《粉末冶金技术》2011年第3期169-172,共4页Powder Metallurgy Technology

基　　金：云南省自然科学基金资助项目(2009ZC013M);昆明理工大学校重点基金资助项目(KKZ1200927003)

摘　　要：以分析纯微米级Al2O3和Cu2O粉体为原料,采用固相烧结法制备铜铁矿型透明导电氧化物CuAlO2陶瓷靶材,通过XRD、R-T和SEM等测试方法对其进行结构和性能表征,研究烧结反应温度及时间对靶材结构、密度、电导率的影响。结果表明:最佳烧结制备CuAlO2陶瓷靶材的试验条件为烧结温度1 150℃、烧结时间10h。试验获得了物相较纯、密度(4.83g/cm3)达到理论密度95%的CuAlO2陶瓷靶材,该靶材室温电导率为1.3×10-2S·cm-1,由电导率温度曲线计算出该靶材热激活能为0.265eV。CuAlO2 ceramic targets were prepared by solid-phase sintering.Structure and performance of CuAlO2 ceramic targets were measured by XRD、RT and SEM.Furthermore,effects of sintering temperature and time on the CuAlO2 ceramic targets were investigated.The experiment results shown that the optimum sintering temperature and time is 1 150℃ and 10 hours respectively.Maximum density of CuAlO2 targets is（4.83g/cm3） 95% of theoretical density,electrical conductivity at room temperature 1.3×10-2S·cm-1,and activation energy 0.265eV.

关 键 词：透明导电氧化物 CuAlO2 固相烧结 电导率 

分 类 号：TQ174.756[化学工程—陶瓷工业]