CCD微尺寸光强分布测量系统  

The System of Measuring Slim Size by Detecting the Intensity Distribution With CCD

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作  者:王华民[1] 刘敏[1] 陈建松[1] 蒋跃[1] 

机构地区:[1]空军雷达学院

出  处:《电子测量技术》1999年第4期41-43,共3页Electronic Measurement Technology

摘  要:在分析传统CCD尺寸测量方法的基础上,利用CCD和8031单片机设计一种微尺寸光强分布测量系统,可实现微尺寸的精密测量。Based on the analysis of traditional method of size measuring with CCD,Intel 8031 microcomputer and CCD are used to design a new system for measuring the intensity distribution of slim size and accurate measurement is realized.

关 键 词:CCD 微尺寸测量 光强分布 单片机 

分 类 号:TM93[电气工程—电力电子与电力传动]

 

参考文献:

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