弱酸性甲基磺酸盐镀暗锡工艺  

作　　者：陈良杰 

机构地区：[1]上海申和热磁电子有限公司,上海200444

出　　处：《电镀与环保》2011年第4期19-21,共3页Electroplating & Pollution Control

摘　　要：0前言随着我国半导体电子工业的快速发展,微电子元器件的一些特殊部件（如陶瓷电容、热敏电阻等）使用越来越多。这些对酸碱度敏感的元件,用原来的强酸或强碱性镀锡工艺容易腐蚀基材，影响元件质量；而氟硼酸盐镀锡溶液对环境危害又大，不符合环保要求^[1]。

关 键 词：镀锡工艺 甲基磺酸盐 弱酸性 微电子元器件 电子工业 陶瓷电容 特殊部件 热敏电阻 

分 类 号：TQ153[化学工程—电化学工业]