压阻型压力传感器的零点温漂及其补偿技术  

The Temperature Drift Of The Bridge Offset For The Piezo-resistive Pressure Sensors And Its Compensation Techniques

作　　者：孙以材[1] 魏占永[1] 孙新宇[1] 高振斌[1] 刘惠丽[1] 

机构地区：[1]河北工业大学,天津300130

出　　处：《半导体杂志》1999年第4期40-49,共10页

基　　金：国家自然科学基金!(69672015);河北省自然科学基金

摘　　要：本文分析了压阻型压力传感器的零点温漂产生的原因，并介绍几种补偿技术。This paper analyses the origin of the temperature drift of the bridge offset for the piezo-resistive pressure sensors and presents some of the compensation technique to minimize it.

关 键 词：压力传感器 零点温漂 补偿技术 传感器 

分 类 号：TH823.2[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]