二维精密工作台测量系统设计  

作　　者：郝敏[1] 

机构地区：[1]四川大学制造科学与工程学院,四川成都610065

出　　处：《硅谷》2011年第17期59-60,共2页

摘　　要：提出二维精密微动工作台的结构及控制方案。以直线电机作为驱动,由气浮导轨带动工作台实现水平x、y两个方向微位移运动,同时利用光栅传感器构成反馈控制。z方向采用激光位移传感器,实现非接触测量。

关 键 词：二维工作台 直线电机 气浮导轨 激光位移传感器 误差分析 

分 类 号：TP273[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]