高重复率XeCl准分子激光器的放电特性  

Discharge characteristics of XeCl excimer laser with high repetition rate

作　　者：王华胜 倪晋智[1] 汪建业 朱广寅 余吟山[1] 

机构地区：[1]中国科学院安徽光学精密机械研究所

出　　处：《光学学报》1989年第10期871-874,共4页Acta Optica Sinica

摘　　要：本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%.The discharge characteristics of XeCl excimer laser using UV preionization discharge pump with high repetition rate are described. Influnee of discharge parameters on discharge process are analyzed. The transfer efficiency maxmum hag reached 2.2%.

关 键 词：准分子激光器 氯化氙 放电特性 

分 类 号：TN248.22[电子电信—物理电子学]